Vòi phun gốm quang điện là bộ phận gốm chính xác để phân phối khí và phun hóa chất trong sản xuất quang điện. Chúng được sử dụng trong thiết bị CVD và PECVD, hệ thống ăn mòn-ướt và các cụm phân phối liên quan trong đó vòi phun là một phần của đường dẫn chất lỏng-của quy trình.

Ưu điểm cốt lõi

Độ chính xác lỗ khoan ± 0,01 mm

Độ chính xác đường kính lỗ khoan là ± 0,01 mm. Trong cụm phân phối khí hoặc chất lỏng có nhiều vòi phun, việc kiểm soát từng đường dẫn đến phạm vi này giúp giảm sự biến đổi giữa các vòi phun và hỗ trợ dòng chảy nhất quán hơn trên toàn mảng.

Ra Nhỏ hơn hoặc bằng 0,2 μm Bề mặt bên trong

Độ nhám bề mặt bên trong là Ra Nhỏ hơn hoặc bằng 0,2 μm. Một bức tường mịn hơn để lại ít điểm hơn cho các hạt hoặc dư lượng hóa chất tích tụ bên trong các lối đi hẹp, giúp làm chậm quá trình hạn chế dần dần đường dẫn dòng chảy.

Phong bì quy trình nóng và ăn mòn

Nhiệt độ làm việc tối đa là 1200 độ hoặc 1500 độ tùy thuộc vào loại gốm được chọn và vòi phun được chỉ định để chống lại hầu hết các loại khí axit và kiềm. Do đó, việc lựa chọn vật liệu có thể dựa trên cả nhiệt độ vận hành và môi trường xử lý.

Tùy chỉnh

Vật liệu

Lựa chọn vật liệu là 99% alumina và cacbua silic.

Chiều dài và giao diện lắp đặt

Chiều dài tổng thể được thực hiện theo bản vẽ của khách hàng. Vai, mặt bích, lỗ lắp và các chi tiết định vị khác có thể được thêm vào để phù hợp với giao diện thiết bị.

Hình học đầu ra và dòng chảy

Bản vẽ hoặc nguyên mẫu đã được phê duyệt có thể xác định bố cục lỗ khoan, hướng đầu ra, hình học phun và cấu hình nhiều lỗ.

Thông số kỹ thuật

tham số	Đặc điểm kỹ thuật
Các loại vật liệu	99% Alumina, cacbua silic
Độ chính xác đường kính lỗ khoan	± 0,01mm
Độ nhám bề mặt bên trong (Ra)	Nhỏ hơn hoặc bằng 0,2μm
Chiều dài vòi phun	Mỗi bản vẽ của khách hàng
Tối đa. Nhiệt độ làm việc	1200 độ (Alumina) / 1500 độ (Silic cacbua)
Chống ăn mòn	Chống lại hầu hết các loại khí axit và kiềm

Kiểm soát chất lượng

Kích thước lỗ khoan được kiểm tra sau khi gia công. Đường đi bên trong cũng được kiểm tra xem có bị tắc nghẽn, hư hỏng cạnh và tình trạng bề mặt trước khi vòi phun chuyển sang xác minh chức năng hay không.

Kiểm tra luồng xác nhận rằng đoạn đã hoàn thành đang mở và cung cấp một kênh nhất quán. Kích thước bên ngoài, chi tiết lắp đặt và bề mặt bịt kín hoặc định vị được kiểm tra riêng biệt so với bản vẽ.

Trước khi đóng gói, các đầu phun được kiểm tra hình thức, số lượng chấp nhận và độ sạch. Hồ sơ kiểm tra sẽ được lưu giữ theo lô,{1}}có thể sắp xếp việc kiểm tra của bên thứ ba và các đầu vòi phun cũng như các bề mặt chính xác được tách riêng trong gói.