Con lăn dẫn hướng bằng gốm là thành phần chính trong thiết bị sản xuất tấm bán dẫn silicon quang điện, chủ yếu được sử dụng để truyền tải, dẫn hướng và định vị tấm bán dẫn. Hiệu suất của chúng ảnh hưởng trực tiếp đến độ ổn định và năng suất sản phẩm trong quá trình vận chuyển tấm bán dẫn.
Tấm silicon ngày càng mỏng hơn, nhiều tấm hiện dày chưa đến 150 micromet. Trong quá trình vận chuyển, nếu bề mặt con lăn dẫn hướng gồ ghề hoặc bị mòn nghiêm trọng sẽ dễ gây ra hiện tượng sứt mẻ, trầy xước thậm chí là vỡ wafer.
Con lăn dẫn hướng bằng gốm thường được làm bằng alumina hoặc oxit zirconium, có độ cứng cao, khả năng chống mài mòn cao và bề mặt hoàn thiện cao. Ngay cả khi hoạt động kéo dài, chúng vẫn duy trì độ chính xác về kích thước và chất lượng bề mặt.
So với con lăn dẫn hướng bằng kim loại, con lăn dẫn hướng bằng gốm không tạo ra ô nhiễm bụi kim loại, cải thiện hiệu quả độ sạch của môi trường sản xuất. Hơn nữa, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời của chúng khiến chúng phù hợp với nhiều điều kiện làm việc phức tạp khác nhau.
Với sự phát triển của các tấm silicon có kích thước lớn{0}}và công nghệ làm mỏng, tầm quan trọng của con lăn dẫn hướng bằng gốm trong thiết bị quang điện ngày càng trở nên nổi bật, khiến chúng trở thành một trong những thành phần chính để cải thiện hiệu suất thiết bị.
